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分析化学过滤器在电子行业的应用
发布日期:2023-03-26 12:51:00 浏览:229

 在集成半导体器件、微电子等高科技企业中,随着产品工艺复杂度的增加和产品工艺线宽度的缩小,空气中的气态分子污染物(以下简称AMC)往往会导致产品良率下降和性能下降和失败,化学过滤器起着重要作用,那么,下面一起了解下化学过滤器在电子行业的应用!

  国际半导体设备与材料协会在SEMI F21-95和F21-1102中给出了AMC气体的分类体系。该标准适用于半导体行业的洁净环境,规定了四个“标准范围”:酸(MA)、碱(MB)、凝物(MC)和杂质(MD)。

  AMC的危害,以电路板为例:电路板常见的化学故障是表面贴装元件的铜蠕变腐蚀和镀银腐蚀,含硫气体和水分会腐蚀电路板上所有铜镀层,由此产生的硫化铜会导致电路板蠕变,并可能导致相邻支座特征之间发生短路。同时,含硫气体能腐蚀银,形成硫化银;大量硫化银的积累会产生机械应力,破坏封装的完整性,并导致进一步腐蚀,直到零件中的所有银都耗尽,导致开路。

  在洁净室中,污染不仅包括严格意义上的尘粒,还包括具有任何干扰作用的固体、液体、气体、热量、电磁等。大多数洁净室都装有化学过滤器或高效过滤器。它们对控制0.5微米以上的颗粒非常有效,但对小分子AMC效果不佳,过滤方式为传统的物理过滤。存在二次污染的风险,需要使用化学过滤器,这与化学过滤器的工作原理密不可分。

  化学过滤器有选择地吸附有害气体分子,而不是像普通过滤器那样机械地“过滤”空气中的异味、腐蚀性气体、有毒气体等杂质。

  化学过滤器通常采用活性炭、活性氧化铝、离子交换树脂等净化介质作为过滤材料。中建南方提供多种化学过滤产品,通过合理配置可达到去除污染物的效果。

  不同行业不同场所对净化后的气态污染物浓度要求不同。在半导体、微电子等行业,使用化学过滤器可以有效去除“分子污染物”,保护敏感的电子系统和印刷电路板。酸性气体和水分的影响可以提高产品质量,提高产品成品率,保护工作人员的身体健康。